1. Escaneo
Cuando el haz de electrones de alta energía generado por el cañón de electrones incide sobre una determinada parte de la muestra, se producen eventos de dispersión elástica e inelástica en la zona de interacción. , lo que resulta en retrodispersión. Se pueden determinar varias señales útiles, como electrones, electrones secundarios, electrones de absorción, rayos X característicos y de espectro continuo, electrones Auger, fluorescencia catódica, etc., utilizando un detector adecuado para detectar el tamaño de estas señales. Ciertas propiedades, como la morfología o composición de la microrregión, etc.
2. Imagenología
La imagen del microscopio electrónico de barrido se logra mediante escaneo. El generador de escaneo controla simultáneamente el "escaneo sincrónico" del haz de electrones de alta energía y el haz de electrones en la pantalla fluorescente. Cuando el haz de electrones realiza un escaneo rasterizado en la muestra, también escanea sincrónicamente en la pantalla fluorescente de la misma manera. entonces un "espacio de muestra" La serie de puntos corresponde al "espacio de visualización" punto por punto.
Aunque las imágenes del microscopio electrónico de barrido son diferentes de la luz o el haz de electrones emitido directamente desde el objeto, como un microscopio óptico y un microscopio electrónico de transmisión, este proceso de obtención de imágenes es como usar un detector de señales como cámara para disparar puntos. por punto en la superficie de la muestra para capturar cada punto. La señal generada por los puntos se convierte en una pantalla fluorescente para obtener imágenes.
Principales propósitos y ámbito de aplicación
El microscopio electrónico de barrido se puede utilizar en el análisis de materiales cerámicos y en el análisis de fallas de materiales metálicos. Es ampliamente utilizado en los campos del petróleo, geología y minerales, electrónica y semiconductores, medicina y biología, industria química y materiales poliméricos, investigación criminal de seguridad pública, así como en agricultura y silvicultura.